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TMFC 流量計/流量控制器-FOB T/T

型號
TMFC30V-4AVF-N2
製造地
台灣
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規格

  • 流量範圍:100SLM~300SLM, 10sccm~30SLM, 10sccm~50SLM, 300SLM~1000SLM, 30SLM~100SLM
  • 流量類型:氮氣

主要特徵

TMFC SERIER

熱質式流量控制器

特性:

 

·         高精度於低流量應用

·         高速反應(1.0)

·         寬廣壓力使用範圍(1300 PSIG)

·         無洩漏率

·         無需溫度或壓力補償係數

·         多樣接續方式e

·         高穩定度無飄移式傳感器晶片

·         耐腐蝕性絕佳性能

·         優異性的線性輸出

·         優異性的長期穩定控制

·         模組化設計

·         緊密型流量控制系統

型號

TMFC30V

TMFC30A

TMFC50V

TMFC50A

流量範圍(N2)

10sccm~30SLM

10sccm~30SLM

10scc~50SLM

10scc~50SLM

反應速度

1.0 sec

精度

±1.0 % FS

重覆精度

±0.25 % FS

 耐壓

1300 PSIG

洩漏率

1 x 10-9 atm.cc/sec or less

操作溫度

0~50

配件材質

本體:SUS316

閥體墊片:Vition(Option Bura or Kalrez or Teflon)

接續方式

標準:1/4 compression

選購: 1/8 compression,1/4 VCR,3/8 Compression,VCR

電氣接線

Dsub 15-pin 公接頭單出線

流量訊號輸入

0~5 Vdc

4~20mA

0~5 Vdc

4~20mA

流量訊號輸出

0~5 Vdc

4~20mA

0~5 Vdc

4~20mA

供應電壓

15~28 Vdc/350mA

產品認證

支付細節

  • 最小訂購量:1
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